一种应用于微电子芯片冲洗的超纯水滤芯
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摘要

本实用新型属于过滤滤芯技术领域,主要涉及一种应用于微电子芯片冲洗的超纯水滤芯,所述滤芯包括外壳体和设于外壳体内部的内滤芯,所述外壳体包括可拆卸连接的安装筒和密封盖,所述密封盖上设有进水接头,所述内滤芯包括滤芯外壳,所述滤芯外壳顶端一体成型有多个连接块,所述连接块的端部与密封盖相接触,滤芯外壳内设有第一树脂层和第二树脂层,所述第一树脂层与滤芯外壳的上部设有第一预留腔,第二树脂层与滤芯外壳的下部设有第二预留腔,所述第一树脂层与第二树脂层之间设有中空的过滤层纤维丝,所述滤芯外壳底端设有出水接头,它具备较高的过滤精度,同时通透性较高,适用的水压范围更大,反清洗效果较好。

基本信息
专利标题 :
一种应用于微电子芯片冲洗的超纯水滤芯
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922473991.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-31
授权号 :
CN212440268U
授权日 :
2021-02-02
发明人 :
李圣泉王文富冯建永
申请人 :
杭州帝凡过滤技术有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市余杭区闲林街道闲兴路32号
代理机构 :
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 :
彭啟强
优先权 :
CN201922473991.6
主分类号 :
B01D29/11
IPC分类号 :
B01D29/11  B01D35/30  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D29/00
不包括在组B01D24/00至B01D27/00中的过滤期间过滤元件不动的过滤器,例如压滤器或吸滤器;其过滤元件
B01D29/11
带有袋、笼、软管、管、套筒或类似过滤元件的
法律状态
2021-02-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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