一种芯片电子超纯水系统工艺及其系统装置
实质审查的生效
摘要

本发明涉及废水处理与回收利用设备,特别涉及芯片电子超纯水系统工艺及其系统装置。它包括芯片电子废水收集箱和增压泵、增压泵的出水端连通有叠片过滤器的进水端,叠片过滤器的出水端连通有耐污染UF装置的进水端,耐污染UF装置的出水端连通有中间水箱的进水端,中间水箱的出水端连通有RO增压泵的进水端,RO增压泵的出水端连通有超滤水净化装置的进水端,超滤水净化装置的出水端连通有保安过滤器的进水端,保安过滤器的出水端连通有高压泵的进水端,高压泵的出水端连通有抗污染RO装置的进水端,抗污染RO装置的出水端连通有RO产水水箱;耐污染UF装置的浓水端连接有硅粉回收集成装置,本发明设备可利用芯片研磨废水进行回用制备芯片电子超纯水。

基本信息
专利标题 :
一种芯片电子超纯水系统工艺及其系统装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114368858A
申请号 :
CN202210033089.6
公开(公告)日 :
2022-04-19
申请日 :
2022-01-12
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
沈海军任晓哲顾家嵘胡昊李成彬沈锦鹏
申请人 :
浙江东洋环境科技有限公司
申请人地址 :
浙江省湖州市吴兴区总部自由港B幢6楼606
代理机构 :
湖州果得知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
汤荷芬
优先权 :
CN202210033089.6
主分类号 :
C02F9/04
IPC分类号 :
C02F9/04  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C02
水、废水、污水或污泥的处理
C02F
水、废水、污水或污泥的处理
C02F9/00
水、废水或污水的多级处理
C02F9/04
至少有一个化学处理步骤
法律状态
2022-05-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C02F 9/04
申请日 : 20220112
2022-04-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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