本发明涉及废水处理与回收利用设备，特别涉及芯片电子超纯水系统工艺及其系统装置。它包括芯片电子废水收集箱和增压泵、增压泵的出水端连通有叠片过滤器的进水端，叠片过滤器的出水端连通有耐污染UF装置的进水端，耐污染UF装置的出水端连通有中间水箱的进水端，中间水箱的出水端连通有RO增压泵的进水端，RO增压泵的出水端连通有超滤水净化装置的进水端，超滤水净化装置的出水端连通有保安过滤器的进水端，保安过滤器的出水端连通有高压泵的进水端，高压泵的出水端连通有抗污染RO装置的进水端，抗污染RO装置的出水端连通有RO产水水箱；耐污染UF装置的浓水端连接有硅粉回收集成装置，本发明设备可利用芯片研磨废水进行回用制备芯片电子超纯水。