一种ITO薄膜均匀镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种ITO薄膜均匀镀膜装置，包括镀膜箱、过滤箱、镀膜装置、注液装置和过滤装置；将ITO薄膜经过镀膜箱内部的镀膜池内，通过注液口和镀膜液喷淋管注入镀膜液对ITO薄膜进行喷淋镀膜，喷淋多余的镀膜液经过镀膜池内部的注液板流入到排液口处，在经过排液口向外侧排出，此时，过滤箱主要用于对镀膜箱内的粉尘进行吸附过滤，空气会依次沿着下导流通道和上导流通道之间的V型流道流动，从而被吸附和冷却，吸附效果高且冷却效果也好；无纺布表面可植入绒毛，导热板和冷却管均可为铝制或铜制，增加导热性，冷却管可以外接接冷却水，下过滤网可以避免其他大尺寸物体进入过滤箱内，上过滤网避免其他物体进入抽真空泵内，起到保护作用。
基本信息
专利标题 ：
一种ITO薄膜均匀镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922484298.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN212370468U
授权日 ：
2021-01-19
发明人 ：
王光华
申请人 ：
赫得纳米科技(昆山)有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市昆山开发区高科技工业园都市路21号
代理机构 ：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汤东凤
优先权 ：
CN201922484298.9
主分类号 ：
B05B16/40
IPC分类号 ：
B05B16/40 B05B14/43 B05B14/48
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置；雾化装置；喷嘴
B05B16/00
喷漆室
B05B16/40
专门适用的结构零件，如地板、墙壁、天花板
法律状态
2021-01-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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