本实用新型公开了红外光学薄膜镀膜机。在真空室腔体内的上部设置工转架；在下部中心设置等离子体源，等离子体源的左右两侧设置第一、二电子枪；在中部设置第一、二修正板分别固定在第一、二驱动单元的安装杆上，第一、二驱动单元设置在真空室腔体外；在下部还设置布气管道通过布气系统与外界连接；在真空室腔体外安装膜厚仪，探头伸入工转架中；在真空室腔体的侧壁上安装真空计；电子枪、等离子体源、驱动单元、布气系统、真空计和膜厚仪都与控制单元连接。此结构无需加热，膜层设计层数可减少，镀膜时间大大缩短，膜层表面致密性好，耐划伤，耐腐蚀，减少了成本，生产效率提升，使用寿命延长，可应用于红外测温及探测等相关电子产品。