一种红外镀膜机监控结构
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摘要
本实用新型提供一种红外镀膜机监控结构，包括镀膜室，所述镀膜室顶端设有顶部红外石英窗口，与顶部红外石英窗口相对的底端设有底部红外石英窗口，所述顶部红外石英窗口与底部红外石英窗口之间设有镀膜设备测试片放置台，所述镀膜设备测试片放置台上放置有镀膜测试片，所述顶部红外石英窗口上端设置有镀膜机光源，所述底部红外石英窗口通过传输光纤与单色仪相连接，所述单色仪与红外硫化铅探测器相连接，将薄膜工艺过程中的监控基准实现标准化（只接收0.8～3.2微米光信号），使得产品的透光率、颜色和硬度等指标都能可靠、精确、稳定地控制在较小偏差范围内，解决人为监测和人为控制节点的偏差问题。
基本信息
专利标题 ：
一种红外镀膜机监控结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020877158.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-22
授权号 ：
CN212102998U
授权日 ：
2020-12-08
发明人 ：
郑璇刘飞
申请人 ：
咸阳镭瑟奥普光电科技股份有限公司
申请人地址 ：
陕西省咸阳市秦都区渭阳西路北侧高新一路创业大厦3层303号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020877158.8
主分类号 ：
C23C14/54
IPC分类号 ：
C23C14/54 C23C16/52 G01B11/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2020-12-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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