本发明属于雷达信号处理技术领域，具体涉及一种太赫兹雷达超高分辨成像方法。太赫兹频段目标散射能量各向异性较为剧烈，而对该类目标成像的通常方法是将大孔径划分为小孔径并对子孔径图像联合成像，子孔径越小孔径内细节越清晰，本发明的特征在于划分子孔径的过程中采用了基于子孔径互相关系数结合子孔径能量的算法来确定子孔径边界，并且在划分子孔径的方法中采用了将子孔径依次重叠一部分的技术。前者更好地解决了对散射能量各向异性目标采用小孔径子孔径联合成像时的旁瓣散焦问题。后者解决了对散射能量各向异性目标采用小孔径子孔径联合成像时，棱角散射能量被子孔径边缘截断导致的成像细节不完整。