一种金刚线切割液及其制备方法
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摘要

本发明属于硅晶体切割技术领域,具体涉及一种金刚线切割液及其制备方法。该金刚线切割液由极压剂、表面活性剂、消泡剂、润滑剂、耦合剂、去离子水组成。切割液中加入复配的表面活性剂,提高了切割液的润滑性以及渗透力,使得切割液可渗入线网与硅片、线网与碎屑之间,形成一层润滑膜,减小了切割损伤、应力和微裂,并能提高切割的冷却效果。切割液对硅粉的分散性较好,可使颗粒分散开来,防止颗粒聚粘,避免了划伤。切割液能够有效清洗掉切割过程产生的大量碎屑和硅粉,并防止形成粘附,降低切割精度,造成切割线磨损。

基本信息
专利标题 :
一种金刚线切割液及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111303981A
申请号 :
CN202010223374.5
公开(公告)日 :
2020-06-19
申请日 :
2020-03-26
授权号 :
CN111303981B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
张小飞
申请人 :
常州高特新材料股份有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市武进区潞城街道五一路310号
代理机构 :
常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
谢新萍
优先权 :
CN202010223374.5
主分类号 :
C10M173/02
IPC分类号 :
C10M173/02  C10N40/22  C10N30/04  C10N30/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C10
石油、煤气及炼焦工业;含一氧化碳的工业气体;燃料;润滑剂;泥煤
C10M
润滑组合物;在润滑组合物中化学物质或单独使用或用作润滑组分
C10M173/00
含水量大于10的润滑组合物
C10M173/02
不含矿物油或脂肪油的
法律状态
2022-05-03 :
授权
2020-07-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C10M 173/02
申请日 : 20200326
2020-06-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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