烘烤设备及其操作方法
授权
摘要
本申请公开了一种烘烤设备及其操作方法，所述烘烤设备包括加热板、夹持装置以及移载装置，所述夹持装置设置于所述加热板上方，以将基板固定于所述加热板上方，所述加热板上设置有相交错的多个吹气孔和多个支撑孔，所述多个吹气孔用于向所述基板吹气，形成气浮，所述移载装置穿过所述多个支撑孔以支撑所述基板，相比于现有技术，本申请通过将基板与加热板分离，提高了基板的受热均匀性，保证了成膜的膜厚均一性，形成气浮以提高基板的平坦度，并设置可灵活取放基板的移载装置以提高烘烤操作的效率。
基本信息
专利标题 ：
烘烤设备及其操作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111451110A
申请号 ：
CN202010273480.4
公开（公告）日 ：
2020-07-28
申请日 ：
2020-04-09
授权号 ：
CN111451110B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
邹家鹏
申请人 ：
TCL华星光电技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
代理机构 ：
深圳紫藤知识产权代理有限公司
代理人 ：
何辉
优先权 ：
CN202010273480.4
主分类号 ：
B05D3/04
IPC分类号 ：
B05D3/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D3/00
涂布液体或其他流体的表面的预处理；已有涂层的后处理，例如要用液体或其他流体作后续涂布的已有的涂层的中间处理
B05D3/04
暴露在气体中
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2020-08-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05D 3/04
申请日 : 20200409
申请日 : 20200409
2020-07-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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