一种带宽可调谐硅基滤波芯片
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摘要

本发明公开了一种带宽可调谐硅基滤波芯片,包括:n个硅腔谐振单元,每个硅腔谐振单元包括上下依次设置的第一金属层、高阻硅介质层和第二金属层;槽线式双阻带谐振器,分布在单个硅腔谐振单元的第一金属层上或者一行上相邻两个硅腔谐振单元的第一金属层相接处,分别包括第一槽线和第二槽线,且第二槽线的一端与所述第一槽线的中点相接;可调谐元件,分布在第一金属层上,且分别与第一槽线和第二槽线的末端对应,所述可调谐元件包括但不限于单个单刀多掷开关芯片和多个单刀单掷封装开关。通过上述方式,本发明所述的带宽可调谐硅基滤波芯片,体积小,Q值高,损耗小,提高了带外抑制度,实现了硅基滤波芯片的带宽调谐功能。

基本信息
专利标题 :
一种带宽可调谐硅基滤波芯片
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111463530A
申请号 :
CN202010276600.6
公开(公告)日 :
2020-07-28
申请日 :
2020-04-10
授权号 :
CN111463530B
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
万晶梁晓新
申请人 :
昆山鸿永微波科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市玉山镇祖冲之南路1699号综合楼北楼910-911室
代理机构 :
苏州广正知识产权代理有限公司
代理人 :
李猛
优先权 :
CN202010276600.6
主分类号 :
H01P1/208
IPC分类号 :
H01P1/208  H01P1/203  
法律状态
2022-04-05 :
授权
2020-08-21 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01P 1/208
申请日 : 20200410
2020-07-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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