一种集成电路生产用机械抛光装置
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摘要

本发明公开了一种集成电路生产用机械抛光装置,工作台顶面两侧两端均开设有移动槽,移动槽内部一端安装有移动电动推杆,移动电动推杆一端安装有移动块,两个相邻移动块分别通过螺钉安装于移动板底面两端,限位板一端处于带动杆外侧位置处焊接有移动弹簧,移动弹簧一端活动安装于保护盒一端,带动杆一端处于移动板一端位置处通过螺钉安装有夹持板,夹持板一端粘接有防护橡胶板,与现有技术相比,本发明的有益效果,便于对集成电路板进行夹持,在夹持过程中,通过移动弹簧的使用,使得移动板和夹持板始终保持贴附状态,使得夹持更加的稳定,保证在抛光过程中,集成电路板不晃动,间接性提高抛光的效果。

基本信息
专利标题 :
一种集成电路生产用机械抛光装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111975604A
申请号 :
CN202010822307.5
公开(公告)日 :
2020-11-24
申请日 :
2020-08-16
授权号 :
CN111975604B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
师利娟
申请人 :
师利娟
申请人地址 :
河南省洛阳市偃师市城关镇洛神路60号院2号楼3付201号
代理机构 :
成都鱼爪智云知识产权代理有限公司
代理人 :
兰小平
优先权 :
CN202010822307.5
主分类号 :
B24B29/02
IPC分类号 :
B24B29/02  B24B41/06  B24B47/12  B24B55/02  B24B41/00  B24B41/02  B24B55/00  B24B55/06  B24B55/12  B08B5/02  F16F15/08  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2022-04-15 :
授权
2022-04-01 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : B24B 29/02
登记生效日 : 20220318
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 师利娟
变更后权利人 : 磊菱半导体设备(江苏)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 471900 河南省洛阳市偃师市城关镇洛神路60号院2号楼3付201号
变更后权利人 : 226000 江苏省南通市启东市启东经济开发区凯旋路399号
2020-12-11 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 29/02
申请日 : 20200816
2020-11-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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