碳基薄膜、碳基薄膜的制备方法、刀具及应用
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摘要

本发明公开了一种碳基薄膜、碳基薄膜的制备方法、刀具及应用。该碳基薄膜包括层叠设置的第一含碳膜层和第二含碳膜层;第一含碳膜层包括以sp3杂化的碳碳键相连接的碳原子,sp3杂化的碳碳键在总碳碳键中的占比≥70%;第二含碳膜层包括氢原子,氢原子在第二含碳膜层中的原子占比为10%~30%。实验证明,上述碳基薄膜处于较高温度时表面的摩擦系数能够得到显著降低,并且不会显著降低碳基薄膜整体的硬度。因此上述碳基薄膜兼具较高的硬度和较低的高温表面摩擦系数。该碳基薄膜可用于刀具,同时提升刀具的抗磨损性能和低摩擦自润滑性能。

基本信息
专利标题 :
碳基薄膜、碳基薄膜的制备方法、刀具及应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111945119A
申请号 :
CN202010945906.6
公开(公告)日 :
2020-11-17
申请日 :
2020-09-10
授权号 :
CN111945119B
授权日 :
2022-05-06
发明人 :
林海天李立升代伟王启民
申请人 :
东莞市华升真空镀膜科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市大岭山镇百花洞马山庙路2号5栋401室、501室
代理机构 :
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 :
吴梦弦
优先权 :
CN202010945906.6
主分类号 :
C23C14/32
IPC分类号 :
C23C14/32  C23C14/06  
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IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法;蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-05-06 :
授权
2020-12-04 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/32
申请日 : 20200910
2020-11-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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