灵敏度可调谐的基于谐振腔干涉结构的声波传感器
授权
摘要
本发明提出了一种灵敏度可调谐的基于谐振腔干涉结构的声波传感器，本发明通过热锁模的方法，将激光器输出中心频率锁定到参考谐振腔的透射谱线1/2位置，锁定后的信号经分束器送入传感器系统的干涉结构中，该信号经分路器分为两路，下一路经过由磁致伸缩材料实现的相位调制结构到达耦合器，上一路通过分路器和两个分路器构成两个用于干涉的谐振腔，其中上方的传感谐振腔接入用于声波检测的压电陶瓷换能器，这两个用于干涉的谐振腔的输出光束通过耦合器，与分路器分出的下路的光耦合出干涉结构，耦合器的中间输出端送入光电探测器，而后通过信号解调电路来处理信号，提取声波信息。该系统体积小，易集成，可进行声波信息的远程探测。
基本信息
专利标题 ：
灵敏度可调谐的基于谐振腔干涉结构的声波传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112254752A
申请号 ：
CN202010953759.7
公开（公告）日 ：
2021-01-22
申请日 ：
2020-09-11
授权号 ：
CN112254752B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
于长秋黄海侠周铁军王宏腾李海
申请人 ：
杭州电子科技大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市下沙高教园区2号大街
代理机构 ：
杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
杨舟涛
优先权 ：
CN202010953759.7
主分类号 ：
G01D5/48
IPC分类号 ：
G01D5/48
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D5/00
用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器
G01D5/48
采用波或粒子辐射装置
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2021-02-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01D 5/48
申请日 : 20200911
申请日 : 20200911
2021-01-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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