自混合干涉测量传感器
授权
摘要
本实用新型涉及用于感测应用的自混合干涉设备。本文公开了自混合干涉测量(SMI)传感器，诸如可包括垂直腔面发射激光(VCSEL)二极管和谐振腔光电探测器(RCPD)。本实用新型公开了VCSEL二极管和RCPD的结构。在一些实施方案中，VCSEL二极管和RCPD横向相邻并由在公共基板上外延形成的一组公共半导体层形成。在一些实施方案中，第一VCSEL二极管和第二VCSEL二极管横向相邻并由在公共基板上外延形成的一组公共半导体层形成，并且RCPD形成在所述第二VCSEL二极管上。在一些实施方案中，VCSEL二极管可包括其间具有隧道结层的两个量子阱层。在一些实施方案中，RCPD可与VCSEL二极管垂直地集成。
基本信息
专利标题 ：
自混合干涉测量传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021252757.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-01
授权号 ：
CN213274291U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
谈飞A·拉弗莱奎尔林劲翰K·里昂M·A·德拉德尔李卫平
申请人 ：
苹果公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚
代理机构 ：
中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人 ：
邹丹
优先权 ：
CN202021252757.7
主分类号 ：
G01D5/26
IPC分类号 ：
G01D5/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D5/00
用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器
G01D5/26
采用光学装置，即应用红外光、可见光或紫外光
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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