针对零件表面的研磨抛光过程，提出一种基于力感知测量的高效精密研抛轨迹优化方法，具体包括以下步骤：以待加工工件三维模型为依据，对零件进行理论加工轨迹规划；控制机器人按照规划轨迹进行运动，采用力感知测量的方式记录每个控制点对应的型差信息，轨迹点余量信息计算，得到表面实际加工点位置补偿信息；根据去除工具和去除材料等工艺参数进行零件表面研磨抛光工艺处理；控制过程中采用渐变量去除的方式，保证加工的效率和精度。与传统方法相比，利用本发明测量的加工轨迹具有打磨加工后型面一致和光顺等优点，且省去了更换测量工具和数据传输、分析等过程，十分简单快捷。实验结果和分析表明该方法能够提高零件的研磨抛光表面质量。