本发明公开了一种分析沉积在滤片上颗粒的方法及其样品制备分析设备，包括滤片、颗粒、背景、离子液体、自动分析滤片上沉积颗粒装置和光学显微镜，其特征在于：所述滤片主要包括滤膜，但也包括粘合剂载体层，例如沉降点使用，所述颗粒包括黑色的颗粒、白色的颗粒、透明的颗粒和灰色的颗粒，所述背景分为两组，分别为浅白色的第一背景和浅黑色的第二背景，所述浅黑色背景和所述浅白色背景均根据颜色深度分为两个等级。该分析沉积在滤片上颗粒的方法，透光性增加的滤片可用于光学分析，因为使用现有知识和廉价资源可以获得透明性增加的滤片，所以这种方法简易且廉价，离子液体的使用使得使用光学显微镜和SEM‑EDX系统检测同一滤片变得更加容易。