一种同心圆结构的静电吸盘电极图形结构
授权
摘要
一种同心圆结构的静电吸盘电极图形结构，涉及半导体和材料科学领域。静电吸盘中的电极单元被分割成若干个小电极带弧后，小电极带弧通过连接点的设置，整个静电吸盘中的电极可以分成所需的任何极数。同心圆结构的静电吸盘电极图形结构，这种结构的静电吸盘电极，一方面将划分单元小型化，有利于降低残余热应力；另一方面，避免了在单元划分过程中孤立电极产生。是一种对称性好，结构均匀、简单的静电吸盘电极。
基本信息
专利标题 ：
一种同心圆结构的静电吸盘电极图形结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112234015A
申请号 ：
CN202011087867.7
公开（公告）日 ：
2021-01-15
申请日 ：
2020-10-12
授权号 ：
CN112234015B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
张巨先
申请人 ：
北京巨瓷科技有限公司
申请人地址 ：
北京市顺义区北小营镇顺木路2号
代理机构 ：
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 ：
张立改
优先权 ：
CN202011087867.7
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2021-09-17 ：
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : H01L 21/683
登记生效日 : 20210906
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 北京巨瓷科技有限公司
变更后权利人 : 烟台睿瓷新材料技术有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 101300 北京市顺义区北小营镇顺木路2号
变更后权利人 : 265200 山东省烟台市经济技术开发区贵阳大街13号
登记生效日 : 20210906
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 北京巨瓷科技有限公司
变更后权利人 : 烟台睿瓷新材料技术有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 101300 北京市顺义区北小营镇顺木路2号
变更后权利人 : 265200 山东省烟台市经济技术开发区贵阳大街13号
2021-02-02 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/683
申请日 : 20201012
申请日 : 20201012
2021-01-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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