一种静电吸盘
授权
摘要
本实用新型提供了一种静电吸盘，包括本体，所述本体上设有同心的中心圆形区域、内环形区域及外环形区域；所述中心圆形区域上设有若干用于冷却气体通过的第一气孔；所述内环形区域的外围设有若干用于冷却气体通过的第二气孔。通过在静电吸盘的内部区域增设用于冷却的氦气孔，使得静电吸盘对晶圆的温度控制更加精细，晶圆表面的温度冷却更加均匀，提高了蚀刻均一性。
基本信息
专利标题 ：
一种静电吸盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020608620.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-21
授权号 ：
CN211605123U
授权日 ：
2020-09-29
发明人 ：
张涛林帅伍凯义苏财钰张嘉修
申请人 ：
重庆康佳光电技术研究院有限公司
申请人地址 ：
重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号(1号厂房)
代理机构 ：
深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐凯凯
优先权 ：
CN202020608620.4
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/67 H01J37/20
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2020-09-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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