用于不同基板的共同静电吸盘
实质审查的生效
摘要
公开了一种用于静电吸附各种基板材料的设备、方法和控制器。本公开内容的一些实施例提供具有可变极性和/或电压的静电吸盘。本公开内容的一些实施例提供了能够用作单极性和双极性静电吸盘的静电吸盘。本公开内容的一些实施例提供了双极性静电吸盘，双极性静电吸盘能够补偿基板偏压并且在不同电极处产生大约相等的吸附力。
基本信息
专利标题 ：
用于不同基板的共同静电吸盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114375487A
申请号 ：
CN202080061576.2
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2020-09-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
V·拉马钱德兰A·朱普迪S·巴布
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
史起源
优先权 ：
CN202080061576.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/683 H02N13/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20200904
申请日 : 20200904
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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