用于清洁静电吸盘的工具与方法
授权
摘要
一种用于清洁静电吸盘的工具及方法。方法包含传送辐射至静电吸盘、接收辐射的反射、分析辐射的反射、基于分析辐射的反射来判定静电吸盘上是否存在颗粒以及当判定颗粒存在时将清洁工具移动至静电吸盘上颗粒的位置。
基本信息
专利标题 ：
用于清洁静电吸盘的工具与方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110813918A
申请号 ：
CN201910553631.9
公开（公告）日 ：
2020-02-21
申请日 ：
2019-06-25
授权号 ：
CN110813918B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
杨岳霖廖啟宏
申请人 ：
台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN201910553631.9
主分类号 ：
B08B5/04
IPC分类号 ：
B08B5/04 B08B7/00 B08B7/02 B08B13/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/04
用带或不带辅助动作的抽气来清洁
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-03-17 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 5/04
申请日 : 20190625
申请日 : 20190625
2020-02-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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