一种静电吸盘的组装方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种静电吸盘的组装方法，包括：提供一基座；通过第一粘结层将陶瓷盘固定在所述基座的一侧，所述陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度小于或等于2丝。其中所述基座与所述陶瓷盘通过第一粘结层进行组装，在组装的过程中通过控制第一粘结层和/或陶瓷盘自身的平整度，以确保组装完成后陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度小于或等于2丝，进而达到工艺所需的平整度要求。
基本信息
专利标题 ：
一种静电吸盘的组装方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114388423A
申请号 ：
CN202210054190.X
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2022-01-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马俊峰张伟泉张巍王风华朱顺存
申请人 ：
浙江新纳陶瓷新材有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市东阳市横店镇工业大道155号新纳陶瓷
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张影
优先权 ：
CN202210054190.X
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 B32B7/023 B32B7/027 B32B7/12 B32B9/00 B32B9/04 B32B33/00 B32B37/10
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/683
申请日 : 20220118
申请日 : 20220118
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
