一种疏水减反射新型微纳米结构CaF2
实质审查的生效
摘要
本发明属于光学薄膜技术领域，公开了一种疏水减反射新型微纳米结构CaF2薄膜及其制备方法，其特征在于，薄膜表面为凹凸不平的微纳米结构，该结构在2000倍下表现为大小不均匀的凹陷坑，在70000倍下呈现为尺寸不一的纳米颗粒；该薄膜以磁控溅射法制备，以CaF2为靶材，以SF6作为反应气体掺入到工作气体Ar2中，SF6电离出的F‑离子既与石英玻璃SiO2反应，在玻璃表面刻蚀出凹凸微纳米结构，又抑制CaF2薄膜的F贫乏；调整工作压力、溅射功率等，可以调整微纳米结构的尺寸等。CaF2膜可以提高玻璃在300‑1100nm波长范围内的平均透过率2‑5个百分点，薄膜表面水接触角达到139.4°，接近于超疏水表面。采用本技术方案制得CaF2减反射膜可应用于室外光学器件上，制备工艺过程简单、可控。
基本信息
专利标题 ：
一种疏水减反射新型微纳米结构CaF2薄膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114408852A
申请号 ：
CN202011089056.0
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2020-10-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘俊成马超李宁
申请人 ：
天津工业大学
申请人地址 ：
天津市西青区宾水西道399号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202011089056.0
主分类号 ：
B81B7/00
IPC分类号 ：
B81B7/00 B81B7/04 B81C1/00 H01L31/048
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81B 7/00
申请日 : 20201013
申请日 : 20201013
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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