本发明提供了一种无机复合抗反射薄膜溶液及制备方法、底部抗反射层的制备方法，其中，无机复合抗反射薄膜溶液的制备方法包括：将正硅酸乙酯、乙醇、去离子水均匀混合，并使用盐酸调节pH至1‑2；将配制含有乙醇的氨水滴加到混合溶液中，同时在室温下进行搅拌，搅拌完成后干燥，以形成凝胶；采用正己烷进行多次浸泡，并滴加含有三甲基氯硅烷的正己烷溶液并静置，再次添加正己烷并进行超声，得到纳米氧化硅抗反射薄膜溶液并加入纳米氧化锌，混合均匀后，得到无机复合抗反射薄膜溶液。本发明通过上述方法制备得到的无机复合抗反射薄膜溶液可使得底部抗反射层能吸收更多达光刻胶薄膜底部的曝光光线进一步达到消除驻波、提高线条形貌的目的。