一种优化钴基磁性薄膜电感材料磁性能的方法
授权
摘要
本发明公开了一种优化钴基磁性薄膜电感材料磁性能的方法，属于信息存储及电感技术领域。本发明技术方案通过将沉积完毕后的样品在真空环境下，进行适当温度的热处理，诱发其界面结构的改变。通过界面处的Co‑O轨道杂化强弱来调节铁磁/非磁(Co基软磁材料/MO)界面处的轨道结构，得到有益的、适度的Co‑O轨道杂化状态，进而调控铁磁薄膜材料磁性能，具有工艺简单、控制方便、效率高、成本低等优点，适合应用于未来信息存储和电感技术中。
基本信息
专利标题 ：
一种优化钴基磁性薄膜电感材料磁性能的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112509805A
申请号 ：
CN202011120297.7
公开（公告）日 ：
2021-03-16
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
CN112509805B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
徐秀兰于广华冯春
申请人 ：
山东麦格智芯机电科技有限公司
申请人地址 ：
山东省淄博市临淄区齐都镇齐都路52号505室
代理机构 ：
北京市广友专利事务所有限责任公司
代理人 ：
张仲波
优先权 ：
CN202011120297.7
主分类号 ：
H01F41/18
IPC分类号 ：
H01F41/18 H01F41/22
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01F
磁体；电感；变压器；磁性材料的选择
H01F41/00
专用于制造或装配磁体、电感器或变压器的设备或方法；专用于制造磁性材料的设备或方法
H01F41/14
用于在基底上施加磁性膜
H01F41/18
用阴极溅射方法
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2021-04-02 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01F 41/18
申请日 : 20201019
申请日 : 20201019
2021-03-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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