可自动取片的水平推舟式碲镉汞液相外延用石墨舟及方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种可自动取片的水平推舟式碲镉汞液相外延用石墨舟及方法,该石墨舟包含盖板、工字块、滑块、垫块和基座;滑块用于放置垫块,液相外延生长时衬底放置于垫块上;基座、滑块、工字块、盖板四个部分从下向上依次组装在一起;工字块与滑块接触部分开槽形成方形腔体,当外延材料从垫块上被顶出后,顶出的外延材料被方形腔体卡住,此时滑块继续移动,从而完成外延材料与滑块的分离;基座中心设置成一块楔形结构,当滑块中的垫块经过楔形结构时,该垫块被向上顶出,与工字块中的腔体一起配合完成自动取片。本发明避免了待母液完全冷却再取片给外延薄膜带来的裂纹,提高了碲镉汞外延薄膜的完整性。
基本信息
专利标题 :
可自动取片的水平推舟式碲镉汞液相外延用石墨舟及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114481305A
申请号 :
CN202011157541.7
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2020-10-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
宋林伟孔金丞万志远李达李培源毛旭峰杨岸宋魏华朱辉陆骏
申请人 :
昆明物理研究所
申请人地址 :
云南省昆明市五华区教场东路31号
代理机构 :
昆明今威专利商标代理有限公司
代理人 :
赛晓刚
优先权 :
CN202011157541.7
主分类号 :
C30B19/06
IPC分类号 :
C30B19/06 C30B29/48
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B19/00
液相外延层生长
C30B19/06
反应室;承载熔融液的舟皿;衬底夹持器
法律状态
2022-06-07 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 19/06
申请日 : 20201026
申请日 : 20201026
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载