石墨舟自动清洗用舟架
授权
摘要
本申请涉及一种石墨舟自动清洗用舟架，其包括端板、承载部和连接杆，端板并排且间隔设置有两块，且两块端板相互远离的一侧设有用于机械手抓取的抓取部，承载部设在两块端板之间且与两块端板均保持间隙，连接杆与承载部以及两块端板均固定连接，连接杆、承载部以及两块端板围合形成用于石墨舟放置的放置空间，承载部用于对石墨舟形成支撑。本申请具有以下效果：机械手可以通过抓取部对舟架进行抓取，将石墨舟放置在舟架内后，即可由机械手进行舟架和石墨舟在清洗槽的取放，以实现石墨舟的自动清洗，从而有效减少石墨舟清洗过程中的人为干预，提升石墨舟清洗品质和清洗产能，并同时避免人为操作带来的不安全因素。
基本信息
专利标题 ：
石墨舟自动清洗用舟架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122499159.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-18
授权号 ：
CN216563041U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
张福庆王贵梅张永
申请人 ：
晶澳太阳能有限公司
申请人地址 ：
河北省邢台市宁晋县晶龙大街
代理机构 ：
北京市万慧达律师事务所
代理人 ：
史雅琪
优先权 ：
CN202122499159.0
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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