调谐激光器芯片
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摘要

一种调谐激光器芯片,包括:后向光栅区(1)、第一增益区(2)、微环谐振腔(c)及前向光栅区(5);所述微环谐振腔(c)包括依次环形连接的第二增益区(3)、第一多模干涉波导(6)、调相区(4)及第二多模干涉波导(7);所述后向光栅区(1)连接至所述第一增益区(2),所述第一增益区(2)连接至所述第一多模干涉波导(6),所述前向光栅区(5)连接至所述第二多模干涉波导(7);其中,所述后向光栅区(1)与所述前向光栅区(5)构成布拉格反射谐振腔,所述第二增益区(3)与所述调相区(4)构成增益谐振腔。该激光器芯片可以实现对L波段光谱的精细调谐及宽范围调谐并避免跳模。

基本信息
专利标题 :
调谐激光器芯片
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112366517A
申请号 :
CN202011250258.9
公开(公告)日 :
2021-02-12
申请日 :
2020-11-10
授权号 :
CN112366517B
授权日 :
2022-04-22
发明人 :
孙文惠徐长达班德超陈伟祝宁华
申请人 :
中国科学院半导体研究所
申请人地址 :
北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
周天宇
优先权 :
CN202011250258.9
主分类号 :
H01S5/10
IPC分类号 :
H01S5/10  H01S5/125  H01S5/14  H01S5/06  H01S5/065  
法律状态
2022-04-22 :
授权
2021-03-05 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 5/10
申请日 : 20201110
2021-02-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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