激光器芯片腔面目检装置

授权

摘要

本实用新型实施例涉及芯片生产设备技术领域，提供一种激光器芯片腔面目检装置，包括基座、镜筒、移动测试台和夹具；移动测试台包括第一移动平台，第一移动平台与基座可滑动连接，夹具安装于第一移动平台；夹具沿第一移动平台的滑动方向设有倾斜面，具有阶梯式芯片安装面的热沉安装于倾斜面；镜筒与显示装置电连接，镜筒的镜口朝向热沉上的芯片的腔面。本实用新型实施例提供的激光器芯片腔面目检装置结构简单，可对具有阶梯式芯片安装面的热沉上的多个芯片的腔面进行快速检测，提高生产效率。

基本信息

专利标题：

激光器芯片腔面目检装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021743375.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-19

授权号：

CN213209934U

授权日：

2021-05-14

发明人：

费华胡慧璇卢昆忠

申请人：

武汉锐科光纤激光技术股份有限公司

申请人地址：

湖北省武汉市东湖开发区高新大道999号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

吕伟盼

优先权：

CN202021743375.4

主分类号：

G01N21/88

IPC分类号：

G01N21/88 G01N21/892