本发明提供了一种薄膜晶体管的特性预测方法、装置及系统，所述方法包括：将用于制作待测薄膜晶体管的工艺条件、所述待测薄膜晶体管的二维结构参数以及物理参数输入至预先建立的器件特性模型，确定所述待测薄膜晶体管在标准温度值下的第一伏安特性曲线以及工作功率；将所述工作功率以及所述待测薄膜晶体管的三维结构参数和热量参数输入至预先建立的温度预测模型，确定所述待测薄膜晶体管在所述工作功率下的温度分布以及最高温度值；将所述最高温度值输入至所述器件特性模型，确定所述待测薄膜晶体管在所述最高温度值下的第二伏安特性曲线；根据所述第二伏安特性曲线与所述第一伏安特性曲线间的偏差，确定所述待测薄膜晶体管的特性变化趋势。