图像传感器的制备方法及图像传感器
公开
摘要
本发明提供一种图像传感器的制备方法及图像传感器，所述图像传感器包括：一主动式钝化层，所述主动式钝化层包含电荷存储区；一透明导电膜，覆盖所述主动式钝化层；一绝缘层，所述绝缘层覆盖主动式钝化层的侧壁；一金属导线，所述金属导线使透明导电膜和控制电路形成电学连接。上述技术方案可以通过主动式钝化层俘获并保存电子，使光生电子不易到达图像传感器的入光面，从而降低表面暗电流，大幅提高图像传感器的成像质量。并且通过透明导电膜与控制电路的电学连接，实现周期性主动控制钝化层的功能。
基本信息
专利标题 ：
图像传感器的制备方法及图像传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114582897A
申请号 ：
CN202011371363.8
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2020-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张舒黄文军陈世杰张斌
申请人 ：
联合微电子中心有限责任公司
申请人地址 ：
重庆市沙坪坝区西园一路28号附2号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN202011371363.8
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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