光电传感器及其制备方法、图像传感器中的应用
公开
摘要
本公开涉及了一种光电传感器及其制备方法、图像传感器中的应用。一种光电传感器包括:衬底;绝缘层,设置于衬底上;探测及成像层,设置于绝缘层上;至少一组源电极和漏电极,设置于探测及成像层上并一个延伸方向上依次设置,源电极和漏电极延伸出探测及成像层的部分与绝缘层接触;其中,探测及成像层的导电率响应于入射的可见光发生变化。通过机械剥离在衬底上得到二维正交相磷化硅纳米带作为探测及成像层,将掩膜覆盖至二维正交相磷化硅表面并沉积源电极和漏电极,构建二维正交相磷化硅光电探测器,实现对可见光的高敏感度探测,并利用这一性质应用于光图像传感器,实现对物体的成像。
基本信息
专利标题 :
光电传感器及其制备方法、图像传感器中的应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114582993A
申请号 :
CN202210206059.0
公开(公告)日 :
2022-06-03
申请日 :
2022-02-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
侯世俊魏钟鸣杨珏晗刘岳阳文宏玉
申请人 :
中国科学院半导体研究所
申请人地址 :
北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
张博
优先权 :
CN202210206059.0
主分类号 :
H01L31/032
IPC分类号 :
H01L31/032 H01L31/09 H01L31/18
法律状态
2022-06-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载