本发明公开了一种量产α‑相氮化硅的多步氮化工艺及α‑相氮化硅，该工艺包括以下步骤：1)将硅粉在含有氮气的气氛下预烧，部分硅粉发生氮化反应，得到预烧产物；2)将预烧产物破碎为尺度为毫米量级及以下的团聚碎屑；3)将破碎过的预烧产物在含有的氮气气氛下，煅烧，硅粉继续发生氮化反应，得到α‑相氮化硅。本发明提出一种量产α‑相氮化硅的多步氮化工艺，一方面通过原位生成氮化硅稀释剂解决了现有技术中稀释剂混入难以保证均匀性的问题；另一方面通过将预烧产物破碎构建出毫米、亚毫米量级的硅粉堆积孔隙网络，将气体扩散通道的尺度提升了2个数量级以上，改善了反应微环境的一致性。