一种提升缺陷检测性能的方法
授权
摘要
一种提升缺陷检测性能的方法，其包括训练集、验证集和测试集的生成步骤、遍历训练集中的N1组三通道图像‑目标CDSEM图像数据对完成神经网络模型的训练步骤、遍历验证集中的N2组三通道图像‑目标CDSEM图像数据对完成目标检测神经网络模型的验证步骤、遍历测试集中的N3组三通道图像‑目标CDSEM图像数据对完成目标检测神经网络模型的测试步骤以及基于最终的目标检测神经网络模型，对新的原始CDSEM图像进行缺陷检测步骤。因此，本发明将原始CDSEM图像的灰度信息和梯度信息进行结合，作为目标检测神经网络模型的输入图像，有助于模型从不同的视野去学习图像的缺陷特征，从而进一步提升模型训练的速度和准确度。
基本信息
专利标题 ：
一种提升缺陷检测性能的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112560935A
申请号 ：
CN202011459029.8
公开（公告）日 ：
2021-03-26
申请日 ：
2020-12-11
授权号 ：
CN112560935B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
许博闻时雪龙燕燕周涛李立人
申请人 ：
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室
代理机构 ：
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
吴世华
优先权 ：
CN202011459029.8
主分类号 ：
G06K9/62
IPC分类号 ：
G06K9/62 G06N3/04 G06N3/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06K
数据识别；数据表示；记录载体；记录载体的处理
G06K9/00
用于阅读或识别印刷或书写字符或者用于识别图形，例如，指纹的方法或装置
G06K9/62
应用电子设备进行识别的方法或装置
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2021-04-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06K 9/62
申请日 : 20201211
申请日 : 20201211
2021-03-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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