人工晶体生长的温场调控装置和温场动态调控方法
授权
摘要
本发明涉及一种人工晶体生长的温场调控装置。所述人工晶体生长的温场调控装置包括温场调节单元、控制单元以及电磁屏蔽结构。所述温场调节单元包括盖设在晶体溶液容器上方的保温盖,所述保温盖的侧壁上设置有垂直距离不同的散热窗,每个散热窗上都设有可改变散热窗孔洞大小的调节板;所述控制单元根据当前温度信息、电源功率信息以及晶体直径信息,实时调整各调节板的开合方向及速度,实现晶体生长温场的动态调整;所述电磁屏蔽结构消除电磁场对装置的负面影响。本发明保证了高品质大尺寸人工光电单晶的稳定生长,并显著降低单晶生长的电能消耗,具有很强的应用价值。
基本信息
专利标题 :
人工晶体生长的温场调控装置和温场动态调控方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112795980A
申请号 :
CN202011521644.7
公开(公告)日 :
2021-05-14
申请日 :
2020-12-21
授权号 :
CN112795980B
授权日 :
2022-05-20
发明人 :
龙思卫王彪王文佳林少鹏朱允中刘秩桦
申请人 :
中山大学
申请人地址 :
广东省广州市海珠区新港西路135号
代理机构 :
广州骏思知识产权代理有限公司
代理人 :
吴静芝
优先权 :
CN202011521644.7
主分类号 :
C30B15/20
IPC分类号 :
C30B15/20
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/20
控制或调节
法律状态
2022-05-20 :
授权
2021-06-01 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 15/20
申请日 : 20201221
申请日 : 20201221
2021-05-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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