一种适应多尺寸硅片的活动卡齿湿式花篮
授权
摘要
本实用新型公开了一种适应多尺寸硅片的活动卡齿湿式花篮，包括相互垂直设置的底座和支撑柱单元，所述的支撑柱单元包括固定柱和可拆卸的活动柱，所述的活动柱由三棱柱和设置在三棱柱两端的圆柱接头组成，所述三棱柱的棱边设有不同深度的卡齿，所述的卡齿沿着所述三棱柱的棱边等间距的设置，设置在同一棱边的卡齿的深度相同。本实用新型提供一种灵活卡齿可装载多尺寸硅片的湿式花篮结构设计，更换过程十分简单，花篮无需整体拆卸、同时后期更换其他尺寸时，只需替换三棱柱即可实现多尺寸硅片共用一套花篮的效果，无需更改花篮主体。
基本信息
专利标题 ：
一种适应多尺寸硅片的活动卡齿湿式花篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020093286.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-16
授权号 ：
CN211578709U
授权日 ：
2020-09-25
发明人 ：
秦磊童锐张忠卫
申请人 ：
南通苏民新能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市通州湾江海联动开发示范区扶海路99号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN202020093286.3
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-09-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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