一种捡晶机侧挡板托盘
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摘要
本实用新型公开了半导体生产制造领域内的一种捡晶机侧挡板托盘，包括捡晶机壳，捡晶机壳前侧设置有开口，捡晶机壳内部设置有操作台，所述捡晶机壳包括上侧挡板和下侧挡板，所述开口位于上侧挡板和下侧挡板之间，所述下侧挡板外侧安装有储物盒，所述储物盒包括相互平行的前侧板和后侧板，所述前侧板和后侧板之间分别设置有左侧板和右侧板，储物盒的各侧板底部水平设置有底板，底板上方的各侧板之间围成储物槽，所述后侧板与下侧挡板相贴靠设置，后侧板上边缘一体设置有弧形主挂钩，主挂钩的长度与后侧板的长度相等，下侧挡板顶部配合伸入主挂钩与后侧板之间的凹槽内。本实用新型能够通过安装储物盒来放置tray盘，减少维修时间。
基本信息
专利标题 ：
一种捡晶机侧挡板托盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020102066.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-17
授权号 ：
CN211350601U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
王伟陈志远聂伟丁培杰陈广顺
申请人 ：
江苏汇成光电有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
王峰
优先权 ：
CN202020102066.2
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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