一种硅片抛光机所用的陶瓷盘上载车
授权
摘要
本实用新型提供了一种硅片抛光机所用的陶瓷盘上载车，包括车体、以及固定在车体上的承载组件，所述承载组件用于放置硅片抛光机所用的陶瓷盘；所述承载组件包括固定在车体顶部的第一固定托板、以及位于第一固定托板上方的第一升降托板，所述第一固定托板与第一升降托板之间安装有升降组件，所述升降组件用于调节第一升降托板与第一固定托板之间的间隙。本实用新型所述的电机驱动第一丝杠转动带动第二升降托板上下移动，所述的电机驱动第二丝杠转动带动第一升降托板上下移动，克服了现有上载车的费力、安全性低以及结构不耐用等诸多缺点。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片抛光机所用的陶瓷盘上载车
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020178121.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-17
授权号 ：
CN212170012U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
安爱博张晋英张碧波严政先郭会波郭旭李文磊霍立强孙晨光王彦君
申请人 ：
中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道
代理机构 ：
天津滨海科纬知识产权代理有限公司
代理人 ：
耿树志
优先权 ：
CN202020178121.6
主分类号 ：
B24B29/02
IPC分类号 ：
B24B29/02 B24B41/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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