一种倒装LED晶圆化学镍金自动生产线
授权
摘要
本实用新型公开了一种倒装LED晶圆化学镍金自动生产线，包括底座、除油槽、清洗槽、碱蚀槽、清洗槽、酸洗槽、初浸锌槽、退锌槽、再浸锌槽、清洗槽、化镍槽、清洗槽、化金槽、清洗槽、导轨、输送机械手、上料小平台和下料小平台，LOT料盒；PLC控制器；本实用新型生产线，将化学镍金工艺进行统一整合，这样在生产时不仅能够节省人力，缩短工艺流程，而且还能避免LED晶圆碰伤、刮花、污染等损害，从而达到简化设备、减少占地面积、节约人员配置、减少污液排放、批量生产的目的，降低生产线制造成本及产品生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种倒装LED晶圆化学镍金自动生产线
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020474460.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-02
授权号 ：
CN211743188U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
吴懿平吕卫文区燕杰
申请人 ：
珠海市一芯半导体科技有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市国家高新技术开发区唐家湾镇大学路101号清华科技园(珠海)创业大楼A座A911单元
代理机构 ：
北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王新爱
优先权 ：
CN202020474460.9
主分类号 ：
H01L33/62
IPC分类号 ：
H01L33/62 C23C18/18 C23C18/32 C23C18/42
法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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