一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，其技术方案要点包括包括样品载台，所述样品载台下方设置有横块；所述横块两侧分别设置有导气装置；所述导气装置包括设置于横块侧面且向外延伸的平行设置的两根密封条；所述密封条之间设置有导气管；所述导气管一端延伸至密封条外侧与接口连接；所述接口与导气管连通。所述密封条下侧设置有密封板；所述密封板向外延伸；所述密封板上表面设置有弧形板；所述弧形板与样品载台紧贴；所述密封板另一端与横块紧贴；所述密封条、密封板、横块以及弧形板之间形成一个密封空腔，本实用新型具有通过输入惰性气体，从而保护了对水分空气敏感的样品有益效果，从而实现观测精确，减少误差。
基本信息
专利标题 ：
一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020486192.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-06
授权号 ：
CN211404450U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
张景峰张礼杰
申请人 ：
温州大学
申请人地址 ：
浙江省温州市高教园区（瓯海区茶山镇）
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
尚欣
优先权 ：
CN202020486192.2
主分类号 ：
H01J37/20
IPC分类号 ：
H01J37/20 H01J37/28
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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