晶圆切割裂片装置
授权
摘要

本实用新型涉及一种晶圆切割裂片装置,包括:底座;设置于底座上的载物台,具有用于承载待裂片晶圆的承载面;限位结构,设置于承载面上、用于限定待裂片晶圆的裂片位置;切割组件,包括对称设置于载物台相对的两侧的两个支架,两个支架之间设置有悬置于载物台上方的滑杆,具有第一滑槽的滑块,滑块通过第一滑槽套设在滑杆上、并可沿着滑杆滑动,滑块面向载物台的一侧设置有对待裂片晶圆的裂片位置进行划痕、以形成预设裂纹的切割刀,以及对待裂片晶圆上预设裂纹的两侧施压的下压部;顶板组件,位于承载面边缘的固定槽内,包括对待裂片晶圆的预设裂纹施压、以与下压部相配合以对待裂片晶圆裂片的上压部。

基本信息
专利标题 :
晶圆切割裂片装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020498218.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-08
授权号 :
CN212421827U
授权日 :
2021-01-29
发明人 :
蒲以松惠聪
申请人 :
西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
代理机构 :
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 :
许静
优先权 :
CN202020498218.5
主分类号 :
B28D5/04
IPC分类号 :
B28D5/04  B28D7/00  B28D7/04  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的,例如往复式工具
法律状态
2021-01-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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