一种用于薄膜测厚仪的辅助支撑装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种用于薄膜测厚仪的辅助支撑装置，包括上工字梁、下工字梁、侧支撑板、立筋板和斜筋板，所述的上工字梁位于下工字梁的上部，与下工字梁相互平行设置，且形成间距；该上工字梁与下工字梁之间安装有侧支撑板，该侧支撑板将所述的上工字梁和下工字梁连接在一起；在所述上工字梁和下工字梁的中部均安装有数个立筋板，相邻两立筋板之间形成间距，在每一立筋板的两侧分别安装有一斜筋板，两斜筋板沿立筋板对称设置，且相邻的两斜筋板之间形成夹角。本实用新型的优点是：通过设置上工字梁、下工字梁、立筋板和斜筋板，能够避免现有的大梁因为超宽而产生的自重下垂变形和温差变化变形，保证了测量精度。

基本信息

专利标题：

一种用于薄膜测厚仪的辅助支撑装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020658574.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-27

授权号：

CN211783384U

授权日：

2020-10-27

发明人：

李维能杨牧

申请人：

钛科优控（江苏）工业科技有限公司

申请人地址：

江苏省南通市高新技术产业开发区金江大道8号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020658574.9

主分类号：

G01B21/08

IPC分类号：

G01B21/08