一种晶粒拾取手臂水平校正装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型提供一种晶粒拾取手臂水平校正装置。所述晶粒拾取手臂水平校正装置,包括:拾取手臂本体和胡椒罐;校正组件,所述校正组件设置于所述拾取手臂本体的底部。通过设置校正组件,作为专门校正拾取手臂的工具,在校正的时候通过与不锈钢板以及感压纸片配合使用,构成一套完整的校正结构,通过观察凹槽在感压纸片压合出印痕的平均程度来判断角度差的实际参数,从而对晶粒拾取手臂进行准确的调节,一次调节到位,不需要多次盲目的调节,大大提高了调节效率,使得调节操作更加方便,通过设置该校正装置很好的解决了因晶粒拾取手臂缺乏专门实用的的工具进行直观的校正,导致不能有效的解决吸嘴与晶圆之间存在角度差的问题。

基本信息
专利标题 :
一种晶粒拾取手臂水平校正装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020716084.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-06
授权号 :
CN212265872U
授权日 :
2021-01-01
发明人 :
张德青田周
申请人 :
合肥新汇成微电子有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020716084.X
主分类号 :
B25J15/06
IPC分类号 :
B25J15/06  B25J19/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25J
机械手;装有操纵装置的容器
B25J15/00
夹头
B25J15/06
带真空或磁力夹持装置
法律状态
2021-05-28 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B25J 15/06
变更事项 : 专利权人
变更前 : 合肥新汇成微电子有限公司
变更后 : 合肥新汇成微电子股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 230000 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内
变更后 : 230000 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内
2021-01-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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