用于平面样品上形成定位标记的辅助装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型涉及一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置，包括：相对设置且供夹住平面样品的第一固定板和第二固定板，且该第一固定板和第二固定板可拆卸地连接，该第一固定板的一侧间隔开设有若干条形孔；对第一固定板进行喷金，以透过条形孔于平面样品的表面形成定位标记线。本实用新型有效地解决了缺陷定位困难的问题，能够提升缺陷的定位精度，大大减少误认或盲切的状况发生，保证后续的检测精度，且本装置结构简单，便于实现。
基本信息
专利标题 ：
用于平面样品上形成定位标记的辅助装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020774326.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-12
授权号 ：
CN211719571U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
蔡齐航谢亚珍余维松
申请人 ：
苏试宜特（上海）检测技术有限公司
申请人地址 ：
上海市闵行区宜山路1618号8幢C101室
代理机构 ：
上海唯源专利代理有限公司
代理人 ：
宋小光
优先权 ：
CN202020774326.0
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L21/66 G01N23/02 G01N23/2005 G01N23/2202
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-03-18 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/68
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏试宜特（上海）检测技术有限公司
变更后 : 苏试宜特（上海）检测技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 201100 上海市闵行区宜山路1618号8幢C101室
变更后 : 201100 上海市闵行区宜山路1618号8幢C101室
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏试宜特（上海）检测技术有限公司
变更后 : 苏试宜特（上海）检测技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 201100 上海市闵行区宜山路1618号8幢C101室
变更后 : 201100 上海市闵行区宜山路1618号8幢C101室
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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