一种可使圆形硅片旋转腐蚀的清洗篮

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种可使圆形硅片旋转腐蚀的清洗篮，包括左右对称设置的左纵板、右纵板，若干分隔纵板、至少两个横向设置的定位夹持旋转轴、一横向设置的动位夹持旋转轴、至少三根横向设置的连接轴；左纵板、右纵板与各分隔纵板通过连接轴固定连接；定位夹持旋转轴分别位于左纵板的中心与右纵板的中心的连线的下方；动位夹持旋转轴位于左纵板的中心与右纵板的中心的连线的上方；左纵板或上右纵板同轴套装有主动旋转轴，主动旋转轴同轴设有主齿轮，动位夹持旋转轴、各定位夹持旋转轴同轴设有可与主齿轮相啮合的副齿轮。本实用新型可使圆形硅片旋转腐蚀的清洗篮具有清洗高效的特点。

基本信息

专利标题：

一种可使圆形硅片旋转腐蚀的清洗篮

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020802916.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-15

授权号：

CN211828710U

授权日：

2020-10-30

发明人：

马玉水

申请人：

马玉水

申请人地址：

山东省聊城市高唐县经济技术开发区人和西路中段路北(杰盛院内)山东联盛电子设备有限公司

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020802916.X

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L21/67 B08B3/08 B08B3/10

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/673

使用专用的载体的

法律状态

2021-01-01 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/673
登记生效日 : 20201221
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 马玉水
变更后权利人 : 山东联盛电子设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 252800 山东省聊城市高唐县经济技术开发区人和西路中段路北(杰盛院内)山东联盛电子设备有限公司
变更后权利人 : 252800 山东省聊城市高唐县人和西路中段路北

2020-10-30 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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