一种集成电路用蚀刻网刷洗装置
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了一种集成电路用蚀刻网刷洗装置,包括清洗壳体,所述清洗壳体顶部外壁一侧转动连接有等距离分布的旋转轴,且旋转轴圆周外壁底部套接有第二橡胶辊,所述清洗壳体一侧外壁转动连接有螺纹杆,且螺纹杆一侧外壁转动连接有固定架,所述固定架顶部和底部内部转动连接有等距离分布的转动轴,转动轴圆周外壁套接有第一橡胶辊,清洗壳体两端外壁均开设有矩形槽。本实用新型中,通过设置有旋转轴、第二橡胶辊、传送皮带和步进电机,能够对固定后的蚀刻网进行输送,通过设置有储水壳体、抽水泵、出液管和喷液管上的喷液嘴,能够对蚀刻网两侧进行喷淋清洗,减少了工作人员的工作量,提高了刷洗效率。

基本信息
专利标题 :
一种集成电路用蚀刻网刷洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020988850.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-03
授权号 :
CN213033094U
授权日 :
2021-04-23
发明人 :
焦金文
申请人 :
焦金文
申请人地址 :
江西省南昌市经济技术开发区枫林西大街1629号
代理机构 :
合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张高飞
优先权 :
CN202020988850.8
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02  B08B13/00  H01L21/67  F26B21/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2021-10-12 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B08B 3/02
登记生效日 : 20210926
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 焦金文
变更后权利人 : 江苏爱矽半导体科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 330000 江西省南昌市经济技术开发区枫林西大街1629号
变更后权利人 : 221000 江苏省徐州市徐州经济技术开发区凤凰湾电子信息产业园A9、A10号厂房
2021-04-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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