一种具有辅助进气装置的气相外延炉

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摘要

本实用新型公开了一种具有辅助进气装置的气相外延炉，包括气相外延炉本体，所述气相外延炉本体的顶部连通有进气管，所述进气管的顶端设置有过滤机构，所述进气管的内腔设置有风机本体，所述风机本体的表面设置有固定机构，所述固定机构的两侧均设置有滑块。本实用新型通过固定机构的设置，可以将外部空气抽入气相外延炉本体的内腔，通过转动旋钮，最终使得上方插杆与下方插杆分别脱离上方和下方的内腔，进而对盖板和滑块同步解锁，即可依次将盖板和风机本体拆卸，该具有辅助进气装置的气相外延炉，具备便于拆装的优点，提高了气相外延炉本体的进气效率，进一步提高了该气相外延炉的工作效率。

基本信息

专利标题：

一种具有辅助进气装置的气相外延炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021107985.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-18

授权号：

CN212451743U

授权日：

2021-02-02

发明人：

王作义马洪文魏关成高万智杨虎陈小铎

申请人：

上海广奕电子科技股份有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼A644-28室

代理机构：

北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

陈佳

优先权：

CN202021107985.5

主分类号：

C30B25/08

IPC分类号：

C30B25/08 C30B25/14