一种单腔清洗镀膜一体机
授权
摘要
本实用新型公开了一种单腔清洗镀膜一体机，该种单腔清洗镀膜一体机包括机架、汽化室、热解室、镀膜腔、清洗机构、冷阱、冷冻机和真空泵，机架上设置有依次相连通的汽化室、热解室和镀膜腔，清洗机构与镀膜腔内接通，镀膜腔与冷阱接通，冷阱分别连接到冷冻机和真空泵。通过上述方式，本实用新型镀膜腔采用单腔双工艺设计，即一个腔体里面可以进行等离子清洗和镀膜两种工艺，可分开单独操作也可合二为一进行整体操作，功能完善，占地面积小，成本低。
基本信息
专利标题 ：
一种单腔清洗镀膜一体机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021186298.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-23
授权号 ：
CN212451602U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
傅其裕
申请人 ：
百腾科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯新路168号11号厂房、6号厂房一层
代理机构 ：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汤东凤
优先权 ：
CN202021186298.7
主分类号 ：
C23C14/02
IPC分类号 ：
C23C14/02 C23C14/12 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/02
待镀材料的预处理
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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