一种高光强大台面平行曝光机UVLED光源
授权
摘要
本实用新型公开了一种高光强大台面平行曝光机UVLED光源，包括曝光机机体，连接钢杆，调节板，第一调节螺栓，复眼透镜，可调节架结构，反射镜模块和可调节照射架结构，所述的连接钢杆分别螺栓安装在调节板外侧的四周，且螺栓安装在曝光机机体内壁的左下部。本实用新型的有益效果为：通过可调节照射架结构的设置，在进行曝光过程中，通过UVLED光源模块代替了传统汞灯光源，有利于功率大幅降低，很大程度上节省了能耗；同时拥有更长的试用寿命和更加环保，进而UVLED光源模块(86)相对于传统汞灯光源不存在红外线，避免了菲林胀缩；该UVLED光源相较于传统汞灯，也不存在汞灯炸灯风险和更加安全。
基本信息
专利标题 ：
一种高光强大台面平行曝光机UVLED光源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021194123.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-24
授权号 ：
CN212586692U
授权日 ：
2021-02-23
发明人 ：
陈建军尹韶云江海波谭军黄小祥朱凯顾海霞
申请人 ：
中国科学院重庆绿色智能技术研究院;张家港奇点光电科技有限公司
申请人地址 ：
重庆市北碚区方正大道266号中国科学院重庆绿色智能技术研究院
代理机构 ：
南京天华专利代理有限责任公司
代理人 ：
夏平
优先权 ：
CN202021194123.0
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-02-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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