一种用于刻蚀工艺的抽风装置
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摘要
本实用新型公开了一种用于刻蚀工艺的抽风装置，包括抽风组件、设置在所述抽风组件的抽风管上的过滤组件，所述过滤组件包括与所述抽风管连通的壳体、位于所述壳体内且沿蒸汽流动方向间隔设置的吸附件和冷凝件，其中所述吸附件沿所述蒸汽流动方向位于所述冷凝件后端，所述冷凝件用于对所述抽风管内的蒸汽进行冷凝，所述吸附件用于对所述抽风管内的蒸汽进行吸附。本实用新型至少包括以下优点：利用吸附件和冷凝件的配合使用，能够较好的截留废气中携带的蒸汽，一方面降低药水投入的成本，另一方面能够减小后续废气塔的处理压力。
基本信息
专利标题 ：
一种用于刻蚀工艺的抽风装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021194164.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-24
授权号 ：
CN212757911U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
袁桃红
申请人 ：
昆山宏得达精密工业有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇城北丁泾路269号6号房
代理机构 ：
苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周子轶
优先权 ：
CN202021194164.X
主分类号 ：
B01D53/04
IPC分类号 ：
B01D53/04 B01D53/26 B01D5/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用，例如，制备气相色谱法
B01D53/04
用固定的吸附剂
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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