一种晶棒定角粘接机
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摘要
本实用新型提供了一种晶棒定角粘接机，属于半导体设备技术领域。它解决了现有晶棒与料板的定角和粘接精度不高的问题。本晶棒定角粘接机,包括工作台、X射线光路的发射与接收机构和用于使料板呈水平放置并定位的扫描机架，扫描机架设置在工作台上，扫描机架能够相对工作台转动，扫描机架上设有矫正基准立板且矫正基准立板能够相对扫描机架转动，矫正基准立板上设有柔性吸盘且柔性吸盘能够将放置在料板上的晶棒吸附并使晶棒贴靠在矫正基准立板的垂直基准面上，扫描机架上设有压块且压块能够将晶棒压紧在料板上。本定角粘接机通过多次的扫描、矫正、验证形成一个闭环式的循环矫正定角过程，能够保证精确的对晶棒实现定角，提高了定角和粘接的精度。
基本信息
专利标题 ：
一种晶棒定角粘接机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021229552.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN212288211U
授权日 ：
2021-01-05
发明人 ：
周晋羽李聪聪周巍
申请人 ：
台州市博信电子有限公司
申请人地址 ：
浙江省台州市椒江区市府大道西段618号208室
代理机构 ：
台州市方圆专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐斌斌
优先权 ：
CN202021229552.7
主分类号 ：
B28D5/00
IPC分类号 ：
B28D5/00 B28D7/00 B28D7/04 G01N23/20
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
法律状态
2021-01-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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