本实用新型提供了一种基板表面污染物取样装置，包括容纳腔、密封组件、盖体、至少一个超声波换能器以及设置于所述盖体上的进水管和出水管；所述容纳腔包括底座和围绕组件，围绕组件设置于所述底座上并围绕设置在底座的外侧，以限定出一容纳空间；密封组件围绕设置在容纳空间中，且抵靠围绕组件的内壁，密封组件在容纳空间中限定出一用于容纳基板的子开口；所述盖体用于覆盖容纳腔以密封容纳腔；所述至少一个超声波换能器设置在所述盖体上，用于朝向容纳腔的容纳空间发射超声波；所述进水管与一萃取液供给装置连接，所述出水管与一萃取液收集装置连接。本实用新型提供的基板表面污染物取样装置的取样准确性和取样效率均较高。